华林科纳 CDS SDS 设备筑牢半导体制造 “生命线”

在半导体先进制程持续向纳米级突破的当下，湿法刻蚀与清洗作为芯片制造的核心环节，对化学品供应的纯度、精度、稳定性与安全性提出近乎严苛的要求。作为国内最早深耕湿法制程的整体解决方案提供商，华林科纳（CSE）立足三十年行业积淀，聚焦产业痛点，推出CSE-CDS/SDS 系列中央化学品自动供液系统（Chemical Dispense System/Slurry Delivery System），以国产化高端装备打破海外技术垄断，为集成电路、LED、光伏、MEMS 等泛半导体领域构建安全、高效、精准的化学品输送 “生命线”。

华林科纳 CDS/SDS 设备是集高纯度材质、精密控制、全维安全、数据化运维于一体的智能化化学品供液解决方案，核心参数全面对标国际标准，既能实现 24 小时不间断、零污染、高精度的化学品输送，又凭借国产化优势带来更高性价比与更优服务，是当前泛半导体产业提升良率、降低成本、保障安全的最优选择。

技术优势：

1. 高纯度材质架构，采用全封闭结构。结构由不锈钢 SUS 方管骨架（40×40×3T），外部包覆耐酸碱腐蚀的PP（聚丙烯） 10T 厚板材，抗静电脚轮（单柜荷重承载≥500kg），底部集成防漏液托盘与漏液 Sensor 检测模块。

2. 精密控制体系：数据化闭环，实现 ppm 级供液精准度。CSE-CDS/SDS 系统搭载PLC+10 英寸 Proface 工业触摸屏的智能控制单元，融合多维度传感监测与闭环算法，实现供液全参数实时调控

3. 针对强酸、强碱、有机溶剂等高危化学品特性，CSE-CDS/SDS 构建多级安全防护网络，所有安全指标符合 GB 50781-2012《电子工厂化学品系统工程技术规范》，有泄漏检测，压力检测、防腐保护，报警系统

4. 赋能先进制程，降本增效显著，·24 小时连续运行无故障时间≥99.95%，满足 Fab 厂不间断生产需求；

产业价值：

1) 良率突破：稳定的供液精度与零污染输送，有效减少晶圆杂质污染、刻蚀不均等问题，助力先进制程良率提升 5% 以上。

2) 成本突破：设备采购价较进口品牌低 40%，全生命周期成本降低 50% 以上，常规型号现货供应，交期远短于进口设备 4-8 周周期，大幅缓解企业资金与产能压力。

3) 安全突破：本地化技术团队提供 7×24 小时响应服务，备件覆盖率 100%，定制化开发周期从 12 周缩短至 3 周，彻底解决海外品牌售后滞后、技术适配难的痛点。

应用场景：全领域覆盖，适配多元需求

华林科纳 CDS/SDS 设备广泛应用于：

Ø 集成电路制造：8/12 英寸晶圆厂湿法刻蚀、清洗、显影等工序的化学品集中供液；

Ø 光电子与功率器件：LED、MEMS、分立器件的高纯药液输送；

Ø 光伏与先进封装：太阳能电池片、晶圆凸点工艺的精准配液与供液；

Ø 电子特种化工：高纯化学品的生产、储存与输送环节

落地实践：标杆案例，验证实力

目前，华林科纳 CDS/SDS 设备已成功应用于国内多家头部半导体、光伏企业产线，累计交付数百台套设备，运行时长超 10 万小时无重大故障。以某 12 英寸晶圆厂为例，引入 CDS 系统后，化学品供液精度稳定控制在 ±1%，产线停机率降低 60%，成为国产高端供液设备的标杆案例。

未来方向：持续创新，引领自主

面向先进工艺趋势，华林科纳正持续迭代 CDS/SDS 技术，研发超纯、超精密、模块化的新一代供液系统，进一步提升智能化、集成化水平。未来，华林科纳将继续深耕湿制程领域，以 CDS/SDS 设备为核心，联动清洗、刻蚀系统，打造全流程国产化解决方案，助力中国半导体产业实现从 “设备自主” 到 “技术引领” 的跨越。

结语

在半导体产业国产化的浪潮中，华林科纳将始终坚守初心，以技术创新赋能产业，以优质装备守护制造，与行业伙伴携手，共绘中国半导体产业高质量发展的宏伟蓝图。