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在碳酸氢钠溶液中单晶硅各向异性蚀刻法制备的微结构
本文研究了基于碳酸钠和碳酸氢钠混合溶液在不同条件下制作单晶硅片微结构的方法。根据表面形态大小和覆盖率对纹理化过程进行了评估。实验表明,Na2CO3浓度的影响通过在5 wt%和30 wt%之间改变浓度是显著的。结果表明,随着Na2CO3浓度的...