半导体行业分析 - SRD甩干机

华林科纳甩干机

一、全球与国内SRD甩干机市场

Ø 细分 SRD 旋转甩干机：2025 年全球市场规模 3.928 亿美元，2026 年 4.0847 亿美元，2030 年达 5.3106 亿美元；亚太地区为全球最大市场，2025 年亚太 SRD 市场规模 2.0845 亿美元。

Ø 2024 年国内晶圆甩干机市场 38.6 亿元，同比增长 19.3%；2025 年市场规模 48.6 亿元，同比增速 22%，增速高于全球平均 14.3%，核心增量来自国内 12 英寸晶圆产能扩张；

Ø 2025 年国内新建 12 英寸晶圆厂中，双腔 SRD 甩干机国产化率 63.4%，较 2024 年 51.7% 提升 11.7 个百分点。

二、双腔SRD主流技术参数

三、行业未来增长预测数据（2026–2030）

Ø 全球 SRD 甩干机市场：2030 年规模 5.31 亿美元，2026–2030 年 CAGR 6.8%；

Ø 中国本土市场：2030 年国内晶圆甩干机市场规模预计突破 92 亿元，2025–2030 年复合增速 13.6%，增速持续高于全球；

Ø 国产替代空间：2030 年国内甩干设备综合国产化率目标突破 75%，其中 8 英寸成熟制程国产化率有望达到 90%；

Ø 下游产能支撑：SEMI 预测，2026–2028 年中国大陆新增 12 英寸晶圆月产能合计超 85 万片，将持续带来每年 12–15 亿元甩干设备新增采购需求；存储芯片、AI 算力芯片产能扩张将成为核心需求增长点。

四、小结

SRD 晶圆甩干机是半导体湿法清洗链路不可或缺的关键设备，全球与国内市场长期保持稳定增长态势。随着国内设备企业技术持续突破，双腔 SRD 设备国产化率已突破 63%，成熟制程产线国产设备渗透率超 80%。

以华林科纳为代表的本土 SRD 设备厂商，依托三十年湿法设备研发沉淀，设备各项工艺、洁净度、可靠性指标全面对标国际高端机型，同时具备采购成本更低、本地化维保响应更快、定制化工艺开发灵活等核心优势，成为国内晶圆厂国产替代选型核心选择。