风囊泵结构

风囊泵以压缩空气作为动力源，泵的两侧各有 2 个气腔接头，用于为泵提供气源驱动。泵的左侧进气， 左侧风囊压缩，连杆带动右侧风囊伸展，右侧风囊 伸展到位后，触发接近开关，接近开关灯亮，输出 控制信号到控制系统，控制系统接收到信号后，控 制三位五通电磁换向供气；右侧进气，右侧风囊压缩， 连杆带动左侧风囊伸展，左侧风囊伸展到位后，触 发接近开关，控制程序检测到接近开关信号后换向， 如此反复。风囊泵的动作示意图如图 所示。

驱动机构中，风囊、缸套、侧板等零部件之间形 成气腔，各个零部件之间采用密封圈进行密封，以 保证压缩空气不泄漏，可以为风囊泵提供足够的压 力。风囊和连接盘、销轴连接，销轴与拉板螺母连接， 两侧的拉板通过拉杆连接，从而实现风囊一侧压缩 另一侧拉伸的联动。缸套与侧板、风囊之间的密封 采用 O 型圈静密封。销轴和侧板之间采用格兰圈密封，提高密封圈的使用寿命。 

过流部件主要包括风囊、单向阀和进出接口。其中，风囊（即波纹管）是风囊泵的核心部件，风囊在整个工作过程中不断地往复运动，伸长缩短的过 程中伴随着应力集中的现象，长时间运行将引起局 部的疲劳受损。当风囊变形超出了其耐压能力极限时，就会产生过度变形或者破损。风囊的破损将会 导致化学介质外泄，引发安全事故，并导致半导体 机台停机，引起巨大的经济损失，甚至是人身伤害。 因此，如何通过结构优化、加工工艺改进提高波纹管的使用寿命，是非常重要的关键技术。