单向阀又称止回阀或逆止阀，是一种允许流体仅沿一个方向流动的装置。单向阀的主要目的是防止回流。单向阀是解决流体系统潜在问题有效且简单的解决方案。
开启压力
单向阀需要最小的上游压力（入口和出口之间的压差）来打开阀门并使介质通过。阀门打开时的最小上游压力称为单向阀的“开启压力”。
具体开启压力根据阀门设计和尺寸而变化，因此请确保流体系统压力能够满足所选用的止回阀的开启压力。
单向阀关闭
如果上游压力低于开启压力或存在背压（流体试图从出口移动到入口），单向阀将关闭。通常，单向阀具有闸板、球、隔膜或圆盘，它们压在密封件上以关闭单向阀。重力或弹簧可以协助关闭过程。
由于单向阀只允许单向流动，因此了解正确的安装方向至关重要。通常，阀门外壳上的箭头指示流动方向。
如果没有箭头，请检查阀门以确保其安装在预期的流动方向上。如果单向阀装反，介质将无法流过系统，由此产生的压力积聚可能会对单向阀及系统造成损坏。
常开或常闭单向阀
常开单向阀允许介质自由流动，但在发生回流时切断流动。常闭单向阀阻止介质流过，直到开启压力增大，此时阀门打开。
常见问题
单向阀常见问题包括噪音、水锤、振动、逆流、卡住、泄漏和部件磨损/损坏。
单向阀能防止水锤吗
弹簧式单向阀的快速反应可以有效防止水锤。
选择标准
半导体行业在选择单向阀时，需考虑以下标准：
材料需承受高纯介质要求
类型与尺寸
最大压力和开启压力要求
密封性与泄漏量
流量控制精度
安装方式
温度（外部和介质）
维护及更换的频率
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