光掩膜是刻有微电路的高精度版，由表面纯平并带有一层铬的石英板或玻璃板制作而成，光掩膜清洗机的工作需要借助外力对膜的一侧的溶液施加压力，当这个压力超过它的渗透压时，溶剂会逆着自然渗透的方向作反向渗透，在压力的作用下反渗透膜的膜孔只有0.0001微米，一些杂质分子化学离子等不能通过，就会留在浓液溶的一侧，然后排出。
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