炉管清洗

我们利用二氯乙烯对炉管进行清洗的步,还包括:利用升温湿氧工艺对炉管进行清洗的步骤所术升温湿氢工艺利用水蒸汽将管中的金污染物带走,所述升温湿氧工艺包括:升温步,用于将炉管进行升温至第一温度,并入氢氧点火后形成的水汽:稳定步,用于将炉管维持所述第一温度并持续一段时间,并通入氢氧点火后形成的水汽:降温步骤用于将炉管从所述第一温度降低至第二温度,并通入氢氧点火形成的水汽。

工艺问答

去胶过程中硫酸和双氧水的配比是多少?

配比:H2SO4:H2O2=3:1 温度:140℃ 流程:1槽5分钟→溢流5分钟→2槽5分钟→冲水10次→甩干

晶圆片污染物主要有哪些?

根据污染物发生的情况,大致可将污染物分为颗粒、有机物、金属污染物及氧化物。

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