流动介质:
纯水、化学液体、空气、氮气
产品特性:
符合SEMI规范，洁净室制造
密封性能高
耐用性高，无金属污染
最大限度的减少工艺流体污染的可能性设计紧凑，空间要求低
适用于强酸、强碱、高温环境
维护方便，节省成本
应用领域
高纯、超纯、腐蚀性化学品处理
湿法清洗和刻蚀化学工艺应用
高温硫酸和磷酸的光刻胶剥离应用
PFA手动规格表：
PFA气动隔膜阀规格表
*部分数据在实际应用中，会根据客户的具体需求而有所差异。
华林科纳是国内首家研发生产的PFA气动隔膜阀的企业，代替了进口PFA隔膜阀，有效解决了进口产品供货期长、价格高的现象。目前国内半导体、太阳能光伏行业一些设备上已使用该产品。
